第690章 深紫光和极紫光(2/2)
国内几大光机所,车城光机在这方面的技术实力最强,胡杨希望能和对方合作,共同攻克这个技术难关。
张潇闻言,笑着摇了摇头道:“我已经和光机所联系过了,他们的胃口可真大。倒不是利益分配上的分歧,他们要求将深紫光光源和极紫光光源,一起立项研发。”
作为国内顶尖的光机所,已经看到了未来技术发展的路径。
目前,阿斯麦已开始研发EUV(极紫光光刻机),并且得到了S星、台电等国际巨头的资金支持。
从理论上来说,深紫光光刻机最高的制程只能做到7nm这个节点。从7nm开始,包括后续的5nm等节点,就必须要用到极紫光光源。
光机所早就想深入研究极紫光光源,但由于经费的问题,迟迟没有立项。
现在张潇主动找上门,人家当然要提条件了。
听到这个,胡杨也感到头疼。这两个研发项目,一个深紫光光源升级,一个极紫光光源研发,都是很烧钱的项目。
和很多人想象的不一样,光源其实是消耗品。不同技术水平的光源,在精度和使用寿命上有很大的区别,并不是能用就够了。
“张总,这两个项目是一脉相承的,未来总会遇到这个难关。你想啊,咱们下一代的设备就是32nm\28nm,距离10nm以下也不是遥远的事情。
这样,我给梁经理打个招呼,帮你们筹集一笔专项资金。这笔资金就专门用来解决光源的问题,你看呢?”
胡杨打算给博隆光学(激光技术)有限公司投一笔资金,支持公司和光机所的联合研发项目。
博隆光学(激光技术)有限公司,是博隆光学的全资子公司,具有激光技术方面的研发和生产能力。