光刻機研發這麼多年,理論體系大家都清楚,但能否用技術實現出來卻至關重要。
徐磊雖然率先解決了光源系統,能夠達到很高的解析度以及使用壽命。
可配製光刻膠卻比較棘手。
霓虹國能為海外光刻機公司提供高階光刻膠,很大程度上是藉助了自身在特殊材料領域的發展。
國內由於此行業底蘊較為薄弱,以至於不少原材料都需要徐磊從零開始研發,這在效率速度上自然會慢上很多。
況且要保證在晶圓上蝕刻出3奈米甚至1奈米的晶片電路, 對光刻膠的要求也就更高,起碼品級要超出海外高階光刻機所使用的光刻膠,否則若最後和製作出來的頂級光刻機不配套,那就成了寶劍配上一個爛木鞘,怎麼看會怎麼彆扭。
至於物鏡系統的研發,進度則就明顯快多了。
海外高階光刻機所使用的鏡頭, 基本來自徳國公司。
且鏡頭上的每一塊鏡片均採用人工打磨的方式,確保鏡片沒有任何瑕疵。
華科院內儘管找不到這種程度的工匠, 但依靠星瞳的強大智慧運算能力和徐磊的把控, 最後打磨出來的鏡片倒也能夠滿足頂級光刻機的需求。
於是在這種情況下。
最後當光刻機各部件成功完成組裝,可以進行測試的時候。
僅剩下光刻膠仍舊沒有解決。
這使得其他人也只能耐心等待,相信徐磊可以配製出頂級的光刻膠。
但由於先前華科院已經放出風去,表示春節前後就能讓國產光刻機投入使用。
所以眼看著時間一天天流逝,大家的心情也開始緊張起來。
尤其是院長楊森平。
幾乎都快把自己的辦公室搬到實驗室來了。
大部分時間都待在專案研究中心。
當然。
他除了是關心專案進度外,更重要的還是想保證這邊的新專案研究組不出現差池,省的到時候造成嚴重影響。
再對他先前負責的專案組成員篩查後,發現其中一名人員和海外勢力存在特殊聯絡。
並在調查後確定正是對方把專案組解散的訊息傳了出去。
對此楊森平雖然按照規定進行了嚴肅處理,但也不想看到徐磊負責的這個新專案組出現類似情況,所以相比剛開始那幾天後面他到實驗室來的頻率明顯增加。
很快,時間來到一月下旬。
當未來科技公司都已經正常放年假的時候,華科院光刻機專案研究組的所有成員仍舊堅守在工作崗位上。
只是相比上個月的信心滿滿,此刻大多數人臉上都流露著急迫的神情。
“楊院長,現在距離春節可沒幾天了。”
“但光刻膠的問題依舊沒有解決,再這樣下去等到時候肯定會在網上引起不小的節奏風波。”
這天上午。
化學實驗室外面。
隨著一位科研人員當著楊森平的面講出這句話, 頓時便讓眾人打開了話匣子,說著自己此時心裡的想法。
“既然已經對民眾做出了保證, 那無論如何都必須做到。”
“上次釋出的公告還是太激進了些,如果時間能在富裕些,我們眼下就無需考慮這個問題了。”
“我建議就使用目前配製出來的光刻膠,就算達不到頂級的品質,但足以生產出7奈米的晶片,這照樣能讓外界震驚。”
……
徐磊雖說暫時未配製出自己想要的光刻膠,但這段時間的研究也並非全無成果。
最新配製出來的光刻膠,可以說已經達到了海外光刻機所使用的標準。
若就這樣使用在國產光刻機上,照樣會引起全球的震驚,並且也能為先前釋出的公告畫上一個圓滿句號。
不過徐磊從最開始的目標就是將博物館中收藏的那臺頂級光刻機復刻出來,若單因為一項光刻膠就讓其效果大打折扣,這是他沒有辦法接受的。
所以哪怕臨近春節,依舊讓自己泡在實驗室裡。
楊森平把眾人的話聽在耳朵裡,心中也是顯得非常糾結。
不知道該如何去處理此事。
但單從私心來講,他還是更傾向於維護院裡的名聲。
反正先把現階段的研究成果對外公佈,再繼續配製頂級光刻膠,似乎看上去也沒啥太大問題。
不過最終經過仔細權衡後,楊森平並沒有直接做出決定,而是把目光投向了旁邊的郝耀平, 想要詢問下他的意見。
畢竟郝耀平作為專案研究組資格最老的院士, 很多人甚至都是他的學生。
在某些地方說話比院長還好使。
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“郝老對這件事怎麼看, 我們需要在這種局面下對外公佈現階段的研究成果嗎?”
原本安靜坐在旁邊聽著眾人爭論的郝耀平,看到楊森平把話題牽扯到自己身上後,也只得清了清嗓子講上幾句。
“我們能組裝出這臺頂級光刻機,且各項技術均遠超海外公司,其中絕大部分可都是人家徐磊的功勞。”
“沒有他別說是對外公佈,恐怕在研究幾年也休想取得效果。”
伴隨郝耀平的聲音在眾人耳旁響起,大家也不免老臉一紅,但卻不敢有任何異議。
誰讓事實就是如此。
郝耀平將眾人的表現看在眼裡,稍微停頓數秒便又接著講道:“既然徐工有把握配製出適用於頂級光刻機的光刻膠,那我們就應該全力支援。”
“直到光刻膠出來為止。”
“至於外面的議論,咱們科研工作者需要在意這些嗎?”
當郝耀平的話音落下,楊森平頓時明白這件事已經給出定論了,於是連忙趁著氣氛當場宣佈道:“郝老說的不錯,徐工負責整個專案研究組的事情,只要他沒有這個打算那我們就耐心等這款光刻膠被配製出來。”
“屆時我們在晶片製造上的技術,也將遠遠超過海外公司。”
話說到這裡,其他人自然不會再進行議論,並且隨後也紛紛返回自己的工作崗位對光刻機各部件進行新的測試最佳化。
確保等光刻膠出來,進行實際測試的時候不會出現特殊情況。
而不得不說,專案研究組成員的擔心很有道理的。
儘管距離春節還有幾天時間,但不知道是不是放假比較閒的緣故,很多網友都自發到華科院官方賬號下面催促。
到後面更是每天登上兩個熱搜,簡直都快成日常保留節目了。
至於行業內的專業人士公司,雖說沒有像網友那樣採用這種方式追問,但對此同樣非常關注。
想知道國產光刻機究竟達到了何種水準。
主要這關係到相關行業的發展。
越早知道具體情況,便能越早佈局,有利於後續的發展。
但影響較大的,還是海外媒體對此事的放大化報道,內容信誓旦旦的指出華科院根本不可能研發出高階光刻機。
加上面對這麼大的外界壓力,華科院沒有做出任何回應,無形中又增加了眾人的懷疑。
全網各大平臺網站上,凡是相關內容下面都能看到激烈的熱議。
“我這次可能真是要失望了,看來國產光刻機的研發的確還有很長的路要走。”
“技術落後倒是沒什麼,關鍵故意放出這種訊息就沒有必要了,除了讓大家體驗到巨大的落差感沒有任何作用。”
“還有幾天就是春節了,請問光刻機在哪裡呢?”
“大家還是洗洗繼續睡吧,哪有什麼光刻機,全都在做夢而已。”
“想不通有必要這麼著急嗎,人家說的明明是春節前後,現在質疑什麼。”
“後十幾年也算後,玩文字遊戲沒啥用。”
“當你們還在為此爭議質疑的時候,聰明人已經全部梭哈半導體行業基金了。”
“真尼瑪狠人啊,都這種局面了還敢梭哈基金,我沒記錯相關行業已經連續跌幾天了吧。”
……
在眾多的評論留言中,雖然有些願意相信國產光刻機,可在海量的質疑聲潮中翻不起任何浪花。
完全不起眼。
而相比外界的風起雲湧,此刻徐磊則是兩耳不聞窗外事,一心全在光刻膠。
“主體材料必須要儘量減少高吸收元素,引入特殊金屬氧化物提高光刻的感光速度,增強體系抗蝕能力,降低光刻膠的膜厚,最終進一步提升解析度。”
“這次應該沒什麼問題了。
“只要順利完成,就能配製出和頂級光刻機相適合的光刻膠。”
2020年1月24日,週五。
除夕夜。
華科院化學實驗室內。
此刻徐磊穿著實驗操作服,站在工作臺旁擺弄著上面的各種精密儀器。
雖說看不到其具體神情如何,但從口中低喃的聲音來判斷,他這次是胸有成竹。
隨後在幾名助手的配合下,特殊金屬氧化物被引入體系材料中,並在裝置的自動運作下,逐漸形成可以直接塗抹在晶圓片上的光刻膠。
不過究竟能否達到想要的效果,成功生產出3奈米規格的晶片,還需要拿到光刻機那邊實際測試才行。
至於被稱作物理極限的1奈米晶片,因為所需的特殊金屬材料還未運送過來,所以暫時還無法生產。
但可以確定的是,這個春節大家雖然都沒有回家,卻肯定是幾十年來最開心興奮的一天。
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